但目前真空領域有許多技術進步,也有分子泵,、冷凝泵的發(fā)明
起始壓力(Pa ) ) ) ) ) ) ) ) ),。
活塞式真空泵1 ~1.3
旋轉式真空泵1 -6.7 -1
水環(huán)式真空泵1 —2.7 http ()
羅茨真空泵1.3 —1.31.3
渦輪分子泵1.3-1.3 10-51.3
水蒸氣噴射泵1 —1.3 -1
油擴散泵1.3 10-2-1.3 10-71.3 10
油蒸汽噴射泵1.3 10—1.3 10-2
分子篩吸附泵1 105-1.3 10-1 105
濺射離子泵1.3 http (/10-3-1.3 http )/10-9 ) 6.7http )/10-1
鈦升華泵1.3http (/10-2-1.3 http )/10-9 ) 1.3 http )/10-2
鋯吸氣劑泵1.3 10-1.3 10-11.3 10
低溫泵1.3—1.3 10-11
這里最少也能去
0.000000000013pa
氣體到達底部后,從前級泵通過擴散泵底部排氣口吸入,,持續(xù)循環(huán)起到抽真空的效果,。
原理大致如此,由此可見,,擴散泵主要依靠油來完成抽真空的工作,。
因為油沒有達到預加熱時沸騰的條件,所以沒有抽真空的效果,,但是油的內部會殘留氣體,。 (具體的殘留原因很多,不多贅述,。 )油開始預加熱,,分子開始活躍時,,殘留氣體溢出,真空度上升,。 這就是我們所說的上升,。
這種現(xiàn)象一般由前級泵抽真空速度跟不上引起,但一般影響不大,。
后期擴散泵正常工作后,,真空度自然下降。
如前期預熱時真空度有要求,,建議加大前級泵抽速度,,可明顯改善。
油封式旋轉機械真空泵干式真空泵
渦輪分子泵濺射離子泵
低溫泵隔膜泵
羅茨式真空泵油擴散真空泵
升華鈦泵分子篩吸附泵
水環(huán)泵往復式真空泵
滑閥真空泵分子增壓泵
有很多種,,原理也不同,不僅僅是排氣,。
最大壓力不明。
負壓強是相對的概念,,并不意味著比真空低,。
一面比另一面壓力低,可以說負壓相對較強,。
真空已經(jīng)是什么都不存在的物質,,理想密度為0。
如果再低一點,,要么質量為負,,要么體積為負。
但是這些都是不現(xiàn)實的啊,。
普通的機械真空泵可以抽出百分之一的真空,。 油擴散泵可以引出到萬分之一或十萬分之一,,分子泵更高。
低壓真空泵量:
水環(huán)式真空泵2000~4000pa
旋轉式真空泵101325~1.33 10-2 (pa ) ),。
1,、水環(huán)式真空泵
HTTP(真空泵) (簡稱http )泵)為粗真空泵,得到的極限真空為2000~4000pa,,串聯(lián)大氣噴射器可達270~670pa,。 也可以使用水環(huán)泵
壓縮機
、水環(huán)式壓縮機,,是屬于低壓的壓縮機,,其壓力范圍為1~2 105pa的表壓。
2、回轉真空泵(簡稱回轉泵)為油封機械真空泵,。
其工作壓力范圍為101325~1.33 10-2 (pa )為低真空泵,。 既可以單獨使用,也可以作為其他高真空泵或超高真空泵的前級泵使用,。 回轉泵多為中小型泵,。 回轉泵有單級和二級兩種。 二級是指結構上串聯(lián)兩個單級泵,。 一般來說,,為了獲得高真空度,多分為兩個階段,。
1、在吸入室選擇取水的最佳流速和一股水的最佳斷面,,使水通量達到最佳分散度,,同時分散后的水質點具有最佳動量,以最小的水量夾帶最多的氣體是低耗高效的最低條件,。
2,、吸入室內水質點與空氣接觸最均勻。 另外,,確保纏繞在離子束上的氣體全部壓入喉罩,。
3、停止初始段氣相逆流偏流,,避免碰撞四壁發(fā)生振動磨損,。 光靠加長喉罩是很難實現(xiàn)這一點的,。 它是通過吸入室的幾何結構、喉道形狀,、喉徑噴嘴面積比,、喉長喉徑比、進水參數(shù)(水量,、水壓)等來實現(xiàn)的,。
4、喉罩結構分為充氣級,、渦流強化級和增壓級三部分,。 實現(xiàn)兩相流的均勻混合,降低磁阻,,消除氣相偏流,,增加兩相質點的能量交換,還可以利用余速將排放的能量損失降到最低,。
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