什么是半導(dǎo)體工業(yè)廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)

半導(dǎo)體工業(yè)是制造各種微電子器件的工業(yè),，在制造過(guò)程中需要使用大量的化學(xué)品和消耗大量的能源，這些化學(xué)品和能源會(huì)排放到大氣中,，會(huì)對(duì)環(huán)境和人們的健康產(chǎn)生不良影響,。半導(dǎo)體工業(yè)廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)是為控制和減少這種排放而制定的一種規(guī)范。

半導(dǎo)體工業(yè)廢氣的成分

在半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中,，排放的廢氣主要包括有機(jī)物,、氟化物、氨氣,、氮氧化物,、硫化物等,。這些廢氣對(duì)環(huán)境和人們的健康都有很大的影響，例如,，氮氧化物和硫化物排放會(huì)產(chǎn)生酸雨,，污染土地和水源，氟化物排放會(huì)對(duì)周圍的植物,、動(dòng)物和人造成影響,，還可能引發(fā)各種疾病。

半導(dǎo)體工業(yè)廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)的制定

半導(dǎo)體工業(yè)廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)主要由國(guó)家環(huán)保部,、國(guó)家質(zhì)檢總局等部門共同制定,。這些標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)國(guó)際上相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和法規(guī)、國(guó)內(nèi)制造需求和環(huán)保要求等因素制定而成,。目前我國(guó)對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)廢氣排放管制的主要法規(guī)有《半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)工藝污染控制標(biāo)準(zhǔn)》（GB 31570-2015）,、《半導(dǎo)體工業(yè)大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB 18484-2014）等。

半導(dǎo)體工業(yè)廢氣排放的限制

半導(dǎo)體工業(yè)廢氣的排放被限制在一定范圍內(nèi),，根據(jù)不同成分和產(chǎn)量,，該行業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)也各不相同。例如,，在氮氧化物的排放要求方面,，GB 18484-2014規(guī)定，氮氧化物排放濃度不得超過(guò)3.5mg/m3,，而在有機(jī)物排放的標(biāo)準(zhǔn)中,，其排放績(jī)效還需符合有機(jī)廢氣排放超標(biāo)懲罰機(jī)制等法規(guī)要求。

半導(dǎo)體工業(yè)廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)的意義

半導(dǎo)體工業(yè)廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于保護(hù)環(huán)境,、減少污染,、保障人們健康、推動(dòng)行業(yè)可持續(xù)發(fā)展具有重要意義,。通過(guò)嚴(yán)格的排放標(biāo)準(zhǔn),，可以降低該行業(yè)的環(huán)境負(fù)擔(dān)和人民群眾的健康風(fēng)險(xiǎn)，同時(shí),，推動(dòng)企業(yè)轉(zhuǎn)型提升,、技術(shù)進(jìn)步和行業(yè)升級(jí)。因此,，制定和執(zhí)行半導(dǎo)體工業(yè)廢氣排放標(biāo)準(zhǔn),，具有非常重要的現(xiàn)實(shí)意義和深遠(yuǎn)的歷史意義。